RBS-觸控彩色旋轉塗佈機 Spin Coater

1. 轉速：

• 1/4″~2.0″ 280~8500RPM
•  3.0″~6.0″ 350~2500RPM
• 8.0″ ＜ 2000RPM2.

2.塗佈範圍：玻璃/晶圓基板Max:φ 203mm以下，
3. 不鏽鋼旋轉內槽≒260mm
4. 採用5.6吋彩色觸控面板,數位式參數設定
5. 轉速設定：4段程控轉速設定*10組記憶
6.真空指示:數位式顯示,可設定真空度動作保護
7. 尺寸：W350 x D395 x H270 mm
8. 可接110V真空幫浦(10A過電流保護)
9. 抽氣採用1/4″ OD快速接頭,含1/4″鐵氟龍管
10.馬達停止後,關閉真空幫浦可自動破真空
11.時間設定範圍:0~999秒
12.運轉中,具有真空持壓功能,避免誤觸真空PUMP閞關,影響樣品吸附.
13.通N2氣體或當排氣孔,1/4″OD快速接頭
14.保固一年
15.含無油式真空幫浦
16. 110V. 50/60Hz
17.台灣製造